Polytec: Qualitätskontrolle und Fertigungsoptimierung in der Elektronikfertigung Weißlicht-Interferometer prüft feinste Strukturen
Fortschritte in der Mikrosystemtechnik und der Mikroelektronik steigern die Nachfrage nach Messungen von Strukturdetails, um zum Beispiel Kanaltiefen und Kantenprofile auf einem Lab-on-a-Chip zu charakterisieren,