Mit linearbasierten Mikroskoptischen von ITK wird seit Jahren Spitzenforschung betrieben. Was die Forschungslandschaft dabei eint, ist der Wunsch nach effizienten und verlässlichen Systemen, die applikationsspezifisch individualisierbar sind und mehr Flexibilität bieten. Mit der neuen Generation der automatisierten TargetPrecisioner® kann dieser Wunsch in Erfüllung gehen.
Ein neuartiges, hausintern entwickeltes Steuerungskonzept sorgt für eine noch präzisere Datenerfassung und Bildauswertung. Dank Embedded Script-Fähigkeit, einer erhöhten Reglerfrequenz und der Integration eines hoch performanten X- und Y-Achsentriggers eröffnet diese Baureihe neue Möglichkeiten im Labor. Das eingesetzte Absolutmesssystem in beiden Achsen sowie der 50 kHz Hybridtrigger ermöglichen erstmals ein Datensampling in X- und Y- Richtung – sowohl einzeln als auch in der Kombination. Zufällige Verfahrprofile können Proben scannen und erste Analyse-ergebnisse bereitstellen. Alternativ lassen sich Proben gezielt detektieren und Daten ausschließlich entlang spezifischer Konturen erfassen – alles unter Nutzung hoch-genauer Positionstrigger mit einer Auflösung von bis zu 5 nm. Ob Optimierung für Z-Drift unter Temperatureinfluss, längere Verfahrwege, kundenspezifische Aufnahmen und Fokusebenen oder Integration zusätzlicher Achsen – dank des modularen
Konzepts ist alles realisierbar. Darüber hinaus kann die eingesetzte Steuerung auf bis zu sechs Achsen erweitert werden, so dass Peripherieachsen ebenfalls über den leistungsstarken ITK-Controller angesteuert werden. Das System arbeitet verschleißfrei und ist damit für 24/7-Betrieb vorgesehen.
Die Mikroskoptische von ITK kommen nicht nur im Bereich Life Sciences, sondern auch in der Halbleiterindustrie zur hochauflösenden optischen Inspektion von Silizium-Wafer zum Einsatz.
Zu sehen ist der TargetPrecisioner®-Mikroskoptisch auf der W3+ Fair Jena,
24./25. September 2025, Stand B15b .
ITK Precisioning GmbH
Am Römerlager 5
35633 Lahnau
Link: www.itknet.de