{"id":31746,"date":"2023-03-13T15:24:13","date_gmt":"2023-03-13T15:24:13","guid":{"rendered":"https:\/\/w3-fair.com\/?post_type=press-release&p=31746"},"modified":"2025-08-13T10:49:05","modified_gmt":"2025-08-13T10:49:05","slug":"steinmeyer-mechatronik-doppelportal-halbleiterinspektion","status":"publish","type":"press_release","link":"https:\/\/w3-fair.com\/en\/press_release\/steinmeyer-mechatronik-doppelportal-halbleiterinspektion\/","title":{"rendered":"Steinmeyer Mechatronik – Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer zur Halbleiterinspektion"},"content":{"rendered":"

Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer f\u00fcr Hochdurchsatz-Screenings<\/strong>
\nHalbleiterinspektion: Doppelter Durchsatz auf kleinster Stellfl\u00e4che<\/p>\n

Mit dem Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer bietet Steinmeyer Mechatronik eine hochwirtschaftliche L\u00f6sung f\u00fcr die Analyse und Inspektion gro\u00dfer Wafer bis 12 Zoll bzw. 300 mm. Das Inspektionsportal mit insgesamt vier Reinraumachsen erlaubt die automatisierte Pr\u00fcfung mehrerer Objekte gleichzeitig und gew\u00e4hrleistet h\u00f6chste Effizienz.<\/strong><\/p>\n

Der Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer<\/a> von Steinmeyer Mechatronik verf\u00fcgt \u00fcber zwei X-Achsen f\u00fcr Scanner bzw. Mikroskope bis 10 kg sowie zwei Y-Achsen f\u00fcr Chucks bis 15 kg und erm\u00f6glicht die Pr\u00fcfung von Vorder- und R\u00fcckseite auf einem System. Das komplett betriebsbereite Achssystem ist f\u00fcr den Einsatz im Drei-Schicht-Betrieb bis Reinraumklasse ISO 2 ausgelegt, \u00e4u\u00dferst kompakt gebaut, wartungsarm und kundenspezifisch konfigurierbar.
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\nHochdurchsatz-Screening von Wafern bis 12 Zoll<\/strong>
\nOb Wafer bis 12 Zoll bzw. 300 mm, Probecards oder Leiterplatten: Mit dem Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer von Steinmeyer Mechatronik lassen sich gro\u00dfe Substrate schnell und pr\u00e4zise untersuchen. Eisenlose Direktantriebe realisieren hochdynamische Fahrten mit Spitzengeschwindigkeiten von bis zu 1.000 mm\/s bei Verfahrwegen von bis zu 720 mm. Der hohe Probendurchsatz gew\u00e4hrleistet eine schnelle Analyse und damit kurze Zykluszeiten. Trotz des doppelten Durchsatzes ist die Aufstellfl\u00e4che aufgrund der kompakten Bauweise \u00e4u\u00dferst gering. Die Basis f\u00fcr die vier Reinraumachsen bildet eine massive, schwere Granitplatte, wodurch hervorragende Ablaufwerte erreicht werden. Dank der Wiederholgenauigkeit von 0,3 \u00b5m lassen sich pr\u00e4zise Messergebnisse und enorme Qualit\u00e4tssteigerungen erzielen.<\/p>\n

Hohes Ma\u00df an Individualit\u00e4t<\/strong>
\nDas Inspektionssystem wird mit voll vermessener Genauigkeit sowie inklusive Kabelmanagement, Motion Controller und Befestigungsbohrungen f\u00fcr Geh\u00e4useanbauten geliefert. Unterschiedliche Engineering-Leistungen und applikationsspezifische Anpassungen gestatten eine passgenaue Auslegung. So kann die Vertikalverstellung wahlweise fest, manuell, motorisch mit Spindel oder dynamisch mit pneumatisch entlastetem Direktantrieb f\u00fcr H\u00f6henkompensation bei voll interpolierter Bewegung erfolgen. Dar\u00fcber hinaus steht eine Vielzahl an Steuerungen zur Verf\u00fcgung \u2013 mit DLL und API zur aufwandsarmen Softwareintegration bis hin zu SPS-Einbindung. Dank des Portalaufbaus l\u00e4sst sich der Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer einfach in bestehende Linienprozesse integrieren. Reparatur, Instandhaltung und Wartung sind durch per Achstausch mit vorjustiertem Wechselinterfaces mit nur sehr kurzer Stillstandszeit erledigt.<\/p>\n

Mehr Effizienz in der Halbleiterindustrie<\/strong>
\nDoppelter Durchsatz auf kleinster Stellfl\u00e4che: Der Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer von Steinmeyer Mechatronik setzt Ma\u00dfst\u00e4be hinsichtlich Perfomance, Bauraum sowie Handhabung und erm\u00f6glicht der Halbleiterindustrie erhebliche Effizienzsteigerungen.<\/p>\n

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