{"id":31741,"date":"2022-11-23T15:19:20","date_gmt":"2022-11-23T15:19:20","guid":{"rendered":"https:\/\/w3-fair.com\/?post_type=press-release&p=31741"},"modified":"2025-08-13T10:53:36","modified_gmt":"2025-08-13T10:53:36","slug":"steinmeyer-mechatronik-inspektionsgantry","status":"publish","type":"press_release","link":"https:\/\/w3-fair.com\/en\/press_release\/steinmeyer-mechatronik-inspektionsgantry\/","title":{"rendered":"Steinmeyer Mechatronik – Inspektionsgantry"},"content":{"rendered":"

Hochdynamisches XYZ-Positioniersystem f\u00fcr Laserapplikationen<\/strong>
\nZuverl\u00e4ssige und gleichbleibende Qualit\u00e4t durch eine hochpr\u00e4zise Positionierung<\/p>\n

F\u00fcr Inspektionsanlagen in der Halbleiter- oder Optikfertigung hat der Dresdner Positionierspezialist Steinmeyer Mechatronik ein kompaktes Gantry-System entwickelt, das h\u00f6chste Pr\u00e4zision im Submikrometerbereich mit langen Verfahrwegen und hoher Dynamik kombiniert. Eine ideale L\u00f6sung f\u00fcr Laseranwendungen.<\/strong><\/p>\n

Das Gantry erm\u00f6glicht hochdynamische Bewegungen<\/a> \u00fcber eine Fl\u00e4che von 1.000 x 800 mm (angepasst an die Aufgabe und den verf\u00fcgbaren Stellplatz) bei einer Wiederholgenauigkeit von 0,3 \u00b5m und ist damit ein Garant f\u00fcr hohen Durchsatz bei gleichbleibender Qualit\u00e4t.<\/p>\n

\u00b5m-genaue Bahnfahrten und Nanometer-Stabilit\u00e4t bei der Messung<\/strong>
\nIn der horizontalen XY-Ebene sorgen integrierte Linearmotoren f\u00fcr Prozessgeschwindigkeiten von 500 mm\/s, auf der vertikalen Z-Achse erzielt der AC-Servo Werte bis 200 mm\/s. Der kundenspezifische Bearbeitungskopf bzw. Sensor an der Z-Achse bewegt sich schnell und gleichm\u00e4\u00dfig \u00fcber die Tr\u00e4ger auf dem Granit. Die Traverse ist f\u00fcr Lasten bis 10 kg ausgelegt, die H\u00f6he kann dabei je nach Anwendung und Bauteilh\u00f6he bis 500 mm variieren. Um optimale Ablaufeigenschaften f\u00fcr enorm wiederholbare Ergebnisse im Submikrometerbereich zu erreichen, sind die Profilschienenf\u00fchrungen direkt auf dem Granit befestigt. Das garantiert \u00b5m-genaue Bahnfahrten und Nanometer-Stabilit\u00e4t bei der Messung.<\/p>\n

Vielzahl an individuellen Anpassungsm\u00f6glichkeiten<\/strong>
\nDie Lieferung des Positioniersystems erfolgt komplett mit Gestell und abgestimmten Schwingungsisolatoren, voll vermessen und in Betrieb genommen sowie mit integrierter Sicherheitstechnik nach Maschinenrichtlinie. Die Steuerung wird individuell auf die Steuerungsarchitektur des Kunden angepasst, eine bewegungssynchrone Triggerung der kundenspezifischen Messsensorik ist m\u00f6glich. Durch den Gantry-Aufbau ist eine Integration in Taktstra\u00dfen und das Anreihen mehrere solcher Portale einfach realisierbar.<\/p>\n

Durch eine zus\u00e4tzliche Verkleidung mit integrierter Absaugung bzw. Umhausung erf\u00fcllt das XYZ-System die Anforderungen f\u00fcr die Reinraumklasse ISO 6. Dar\u00fcber hinaus k\u00f6nnen weitere kundenspezifische Anpassungen vorgenommen werden, unter anderem in Bezug auf die Verfahrwege, L\u00e4ngenkombinationen, Verkabelung und Steuerung. F\u00fcr die Inspektion komplexerer Geometrien ist eine Kombination mit Hebetischen und\/oder Drehachsen m\u00f6glich.<\/p>\n

Ideale Basis f\u00fcr Inspektionsanlagen in der Halbleiter- oder Optikfertigung<\/strong>
\nDank der hohen Pr\u00e4zision und Dynamik, der langen Verfahrwege sowie der kompakten Bauweise ist das Gantry-System eine ideale Basis f\u00fcr Inspektionsanlagen in der Halbleiter- oder Optikfertigung. Vor allem hochpr\u00e4zise und dynamische Anwendungen, wie das Laserf\u00fcgen sowie Lasermikroapplikationen in der Medizintechnik, profitieren von den genannten Eigenschaften.<\/p>\n

Als etablierter Lieferant f\u00fcr Positioniersysteme in der Halbleiterinspektion und Halbleiteroptik ist Steinmeyer Mechatronik zudem vertraut mit den Anspr\u00fcchen f\u00fcr Ultraviolett- und Extrem-Ultraviolettprozesse und bietet gro\u00dfz\u00fcgige Montager\u00e4umlichkeiten zur Gesamtinbetriebnahme des Systems, auch im Reinraum.<\/p>\n

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